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    氨气 (NH3)

     

    项目名称

    纯度指标(%)

    氨气

    ≥99.8

    杂质含量(ppm)

     

    氮气(N2)

    ≤0.01

    氧气(O2)

    ≤0.01

    碳氢化合物(THC)

    ≤0.02

    水(H2O)

    ≤0.06

    一氧化碳(CO))

    0.01

    二氧化碳(CO2)

    ≤0.05

    甲烷(CH4)

    -

     

    包装:采用450L、200L钢瓶充装。

     

    用途:用于晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜

     

    理化性质通常为无色有强烈刺激性气味,常温下加压可液化,临界温度132.9,临界压力11.38MPa,常压下冷却到-33.35时液化。液氨挥发性很强,气化时吸热很大,在-77.75时凝固成无色结晶。氨极易溶于水,并放出热量。氨的水溶液称为氨水,呈弱碱性,易挥发。自燃点630,在空气中遇火能爆炸。

    常温、常压下在空气中的爆炸极限为16%~28%(体积)。

     

    注意事项:

    1、工作时应选用耐腐蚀的工作服、防碱手套、眼镜、胶鞋、用硫酸铜或硫酸锌防毒口罩,防毒口罩应定期检查,以防失效。

    2、在使用氨水作业时,应在作业者身旁放一盆清水,以防万一;在氨水运输过程中,应随身携带2~3只盛满3%硼酸液的水壶,以备急救冲洗;配制一定浓度氨水时,应戴上风镜;使用氨水时,作业者应在上风处,防止氨气刺激面部;操作时要严禁用手揉擦眼睛,操作后洗净双手。

    3、配备良好的通风排气设施、合适的防爆、灭火装置。

    4、工作场所禁止饮食、吸烟、禁止明火、火花。

    5、应急救援时,必须佩带空气呼吸器。

    6、发生泄漏时,将泄漏钢瓶的渗口朝上,防止液态氨溢出。

    7、加强生产过程的密闭化和自动化,防止跑、冒、滴、漏。

    8、使用、运输和贮存时应注意安全,防止容器破裂和冒气。

    9、现场安装氨气监测仪及时报警发现。

     


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